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Crescita dell'area selettiva di GaN su substrati di GaN sfusi non polari e semi-polari

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Crescita dell'area selettiva di GaN su substrati di GaN sfusi non polari e semi-polari

2019-05-09

Abbiamo effettuato la crescita dell'area selettiva di GaN e fabbricato MQW InGaN / GaN su substrati GaN sfusi non polari e semi-polari mediante MOVPE. Sono state studiate le differenze nelle strutture GaN e nell'incorporazione di InGaN/GaN MQW cresciute su substrati GaN non polari e semi-polari . Nel caso della crescita dell'area selettiva, sono state ottenute diverse strutture GaN su substrati GaN, GaN e GaN. Su GaN è apparso uno schema ripetuto di e sfaccettature. Quindi, abbiamo fabbricato MQW InGaN/GaN sulle strutture delle faccette su GaN. Le proprietà di emissione caratterizzate dalla catodoluminescenza erano differenti per e sfaccettature. D'altra parte, per MQW InGaN/GaN su substrati GaN non polari e semi-polari, sono stati osservati passaggi lungo l'asse a mediante AFM. In particolare su GaN sono apparse ondulazioni e raggruppamenti di ondulazioni. La caratterizzazione della fotoluminescenza ha indicato che l'incorporazione aumentava con l'angolo di fuori dal piano m e dipendeva anche dalla polarità.


Fonte: IOPscience

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