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sic wafer

substrato ed epitassia sic:

sic substate (epi ready), n tipo e semi-isolante, polytype 4h e 6h in diversi gradi di qualità, densità micropipe (mpd): libero, \u0026 lt; 5 / cm2, \u0026 lt; 10 / cm2, \u0026 lt; 30 / cm2, \u0026 lt ; 100 / cm2

sic epitassia: uniformità dello spessore di wafer a wafer: 2%, uniformità del doping wafer to wafer: 4%

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