wafer epitassiale di silicio (epi wafer) è uno strato di silicio monocristallino depositato su un singolo wafer di silicio cristallino (nota: è disponibile per far crescere uno strato di strato di silicio policristallino su un wafer di silicio cristallino altamente drogato, ma necessita strato tampone (come ossido o poli-si) tra il substrato bulk si e lo strato epitassiale superiore)
wafer di silicio epitassiale
wafer epitassiale di silicio (epi wafer) è uno strato di silicio monocristallino depositato su un singolo cristallo wafer di silicio (nota: è disponibile per far crescere uno strato di strato di silicio policristallino sopra un cristallino altamente drogato wafer di silicio , ma ha bisogno di uno strato tampone (come l'ossido o il poli-si) tra il substrato bulk si e lo strato epitassiale superiore)
lo strato epitassiale può essere drogato, come viene depositato, alla concentrazione di drogaggio precisa mentre continua la struttura cristallina del substrato.
resistività epilayer: u0026 lt; 1 ohm-cm fino a 150 ohm-cm
spessore epilayer: u0026 lt; 1 um fino a 150 um
struttura: n / n +, n- / n / n +, n / p / n +, n / n + / p-, n / p / p +, p / p +, p- / p / p +.
applicazione di wafer: dispositivi digitali, lineari, di potenza, mos, bicmos.
i nostri vantaggi a colpo d'occhio
1.pianta attrezzature di crescita epitassia e attrezzature di prova.
2. offrire la massima qualità con bassa densità dei difetti e buona rugosità superficiale.
3. forte supporto del team di ricerca e supporto tecnologico per i nostri clienti
6 "specifiche wafer:
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articolo |
u0026 EMSP; |
specificazione |
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substrato |
sub spec. no. |
u0026 EMSP; |
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crescita del lingotto metodo |
CZ |
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conduttività genere |
n |
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drogante |
come |
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orientamento |
(100) ± 0.5 ° |
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resistività |
≤ 0.005ohm.cm |
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rrg |
≤ 15% |
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[oi] contenuto |
8 ~ 18 ppma |
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diametro |
150 ± 0,2 mm |
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appartamento primario lunghezza |
55 ~ 60 mm |
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appartamento primario Posizione |
{110} ± 1 ° |
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secondo piano lunghezza |
semi |
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|
secondo piano Posizione |
semi |
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spessore |
625 ± 15 um |
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didietro caratteristiche: |
u0026 EMSP; |
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1 , bsd / poly-Si (a) |
1.bsd |
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2 , SiO2 |
2.lto: 5000 ± 500 a |
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3 , esclusione del bordo |
3.ee:?0.6 mm |
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marcatura laser |
nessuna |
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superficie frontale |
lucidato a specchio |
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epi |
struttura |
n / n + |
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drogante |
phos |
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spessore |
3 ± 0,2 um |
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thk.uniformity |
≤ 5% |
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misurazione posizione |
centro (1 pt) 10 mm dal bordo (4 punti a 90 gradi) |
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calcolo |
[Tmax-Tmin] ÷ [[Tmax + tmin] x 100% |
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resistività |
2,5 ± 0,2 ohm.cm |
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|
res.uniformity |
≤ 5% |
|
|
misurazione posizione |
centro (1 pt) 10 mm dal bordo (4 punti a 90 gradi) |
|
|
calcolo |
[Rmax-Rmin] ÷ [[rmax + Rmin] x 100% |
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stack fault densità |
≤ 2 ( EA / cm2 ) |
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foschia |
nessuna |
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graffi |
nessuna |
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crateri , buccia d'arancia , |
nessuna |
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corona laterale |
≤ 1/3 spessore epi |
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slittamento (mm) |
lunghezza totale ≤ 1dia |
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Affari esteri |
nessuna |
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superficie posteriore contaminazione |
nessuna |
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punto totale difetti (particelle) |
≤ 30@0.3um |
fz-silicio il silicio monocristallino con le caratteristiche di basso contenuto di materiale estraneo, bassa densità di difetti e perfetta struttura cristallina è prodotto con il processo a zona galleggiante; nessun materiale estraneo viene introdotto durante la crescita dei cristalli. la conduttività del silicio-fz è di solito superiore a 1000 Ω-c6
pam-xiamen offre wafer fittizio / wafer di test / wafer di monitoraggio
CZ-silicio il silicio monocristallino cz pesantemente / leggermente drogato è adatto alla produzione di vari circuiti integrati (ic), diodi, triodi, pannelli solari a energia verde. gli elementi speciali (come ga, ge) possono essere aggiunti per produrre materiali per celle solari ad alta efficienza, resistenti alle radiazioni e anti-degenerazione 6
fz wafer lucidati, principalmente per la produzione di raddrizzatore al silicio (sr), raddrizzatore controllato al silicio (scr), transistor gigante (gtr), tiristore (gro)
il wafer di incisione ha le caratteristiche di bassa rugosità, buona lucentezza e costo relativamente basso e sostituisce direttamente il wafer lucido o il wafer epitassiale che ha costi relativamente alti per produrre gli elementi elettronici in alcuni campi, per ridurre i costi. ci sono wafer di bassa rugosità, bassa riflettività e alta riflettiv6
pam offre materiali semiconduttori, wafer al germanio monocristallino (ge) cresciuto da vgf / lec
fz-silicio il silicio monocristallino con le caratteristiche di basso contenuto di materiale estraneo, bassa densità di difetti e perfetta struttura cristallina è prodotto con il processo a zona galleggiante; nessun materiale estraneo viene introdotto durante la crescita dei cristalli. la conduttività del silicio-fz è di solito superiore a 1000 Ω-c6
pam-xiamen offre wafer in carburo di silicio a semiconduttore, 6h sic e 4h sic in diversi gradi di qualità per ricercatore e produttori industriali. abbiamo sviluppato la tecnologia di crescita del cristallo sic e la tecnologia di trattamento del cristallo sic sic, ha stabilito una linea di produzione per substrato produttore sic, che viene applica6
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