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3-12. gocce di silicio

3.definizioni di epitassia di carburo di silicio

3-12. gocce di silicio

2018-01-08

Le gocce di silicio possono apparire come piccoli tumuli o depressioni nella superficie del wafer. normalmente assenti, ma se presenti sono in gran parte concentrati al perimetro del wafer. se presente, stimare la% dell'area specifica interessata.

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