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3-11. particelle

3.definizioni di epitassia di carburo di silicio

3-11. particelle

2018-01-08

le particelle hanno l'aspetto degli occhi e se presenti sono generalmente concentrate ai bordi dei wafer e non all'interno dell'area speci cata. se presente, conta una volta per evento. due particelle entro 200 micron contano come una sola.

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