Esame di incisione topografica e chimica a raggi X di Si: Ge singoli cristalli contenente 1,2 a% e 3,0 a% Ge, insieme con precise misurazioni dei parametri reticolari, è stato eseguito. Contrasti di diffrazione sotto forma di "quasi-cerchi" concentrici (striature), probabilmente dovuti alla distribuzione non uniforme degli atomi di Ge, sono stati osservati nei topografi di proiezione. Gl...
Presentiamo un metodo senza contatto per la determinazione del tempo di risposta termica dei sensori di temperatura incorporati nei wafer. In questo metodo, una lampada flash illumina un punto sul wafer in impulsi periodici; il punto si trova sul lato opposto rispetto al sensore in prova. La costante di tempo termica del sensore viene quindi ottenuta dalla misurazione della sua risposta temporale,...
Usando la deposizione di vapore chimico migliorata al plasma (PECVD) a 13,56 MHz, uno strato di seme viene fabbricato nella fase di crescita iniziale del microcristallino idrogenato silicio germanio (μc-Si1-xGex: H) i-layer. Gli effetti dei processi di semina sulla crescita di μc-Si1-xGex: H i-layers e le prestazioni di μc-Si1-xGex: H p-i-n celle solari a singola giunzione sono investigati Applica...
Esperimenti ortogonali sulla crescita di pellicole GaSb Substrato GaAs sono stati progettati ed eseguiti utilizzando un sistema di deposizione chimica da fase vapore in metallo-organico a bassa pressione (LP-MOCVD). Le cristallinità e le microstrutture dei film prodotti sono state analizzate comparativamente per ottenere i parametri di crescita ottimali. È stato dimostrato che il film sottile GaSb...
Per materiali omogenei, il metodo di immersione ad ultrasuoni, associato a un processo di ottimizzazione numerica basato principalmente sull'algoritmo di Newton, consente la determinazione di costanti elastiche per vari materiali compositi sintetici e naturali. Tuttavia, una limitazione principale della procedura di ottimizzazione esistente si verifica quando il materiale considerato è al limi...
È stato sviluppato un epi-reattore verticale a parete calda che consente di ottenere simultaneamente un alto tasso di crescita e un'uniformità di grande area. Si ottiene un tasso di crescita massimo di 250 μm / h con una morfologia a specchio a 1650 ° C. Sotto una modifica epi-reattore configurazione, un'uniformità di spessore dell'1,1% e un'uniformità di drogaggio del 6,7% per un&...
Un metodo di imaging non distruttivo senza contatto per la concentrazione di drogante risolta spazialmente, [2.2] N d, e la resistività elettrica, ρ, di wafer di silicio di tipo n e pviene presentato l'utilizzo di immagini carrierografiche lock-in a varie intensità di irradiazione laser. Le informazioni sull'ampiezza e sulla fase provenienti da siti di wafer con resistività nota sono state impiega...
Vengono esaminati i recenti progressi nella crescita dei film epitassiali di SiC su Si. Vengono discussi i metodi classici di base attualmente utilizzati per la crescita dei film di SiC e vengono esplorati i loro vantaggi e svantaggi. L'idea di base e il background teorico per un nuovo metodo di sintesi di film epitassiali di SiCsu Si sono dati. Si dimostrerà che il nuovo metodo è significativamen...
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