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Strati di germanio altamente drogati con boro su Si(001) cresciuti mediante epitassia mediata dal carbonio

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Strati di germanio altamente drogati con boro su Si(001) cresciuti mediante epitassia mediata dal carbonio

2019-07-29

Strati di germanio lisci e completamente rilassati altamente drogati con boro sono stati coltivati ​​​​direttamente su substrati di Si (001) utilizzando l'epitassia mediata dal carbonio. Un livello di doping è stato misurato con diversi metodi. Utilizzando la diffrazione di raggi X ad alta risoluzione abbiamo osservato diversi parametri reticolari per campioni intrinseci e altamente drogati con boro. Un parametro reticolare di un Ge: B = 5,653 Å è stato calcolato utilizzando i risultati ottenuti dalla mappatura dello spazio reciproco attorno alla riflessione (113) e al modello di distorsione tetragonale. La contrazione del reticolo osservata è stata adattata e portata in conformità con un modello teorico sviluppato per silicio drogato con boro ultra-alto. La spettroscopia Raman è stata eseguita sui campioni intrinseci e drogati. È stato osservato uno spostamento nel picco di scattering fononico di primo ordine e attribuito all'elevato livello di drogaggio. Un livello di doping è stato calcolato confrontandolo con la letteratura. Abbiamo anche osservato una differenza tra il campione intrinseco e quello drogato nell'intervallo di diffusione di fononi di secondo ordine. Qui è visibile un picco intenso per i campioni drogati. Questo picco è stato attribuito al legame tra il germanio e l'isotopo del boro 11B.


Fonte: IOPscience

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