riportiamo qui un processo a doppia faccia per la fabbricazione di un micro-mirror gan comb-drive su una piattaforma gan-on-silicon. un substrato di silicio viene dapprima modellato dal retro e rimosso mediante profonda incisione di ioni reattivi, ottenendo lastre di gan totalmente sospese. microstrutture di gan incluse le barre di torsione, i pettini mobili e la piastra a specchio vengono quindi definite su una lastra di gan indipendente mediante la tecnica di allineamento sul lato posteriore e generate mediante incisione del fascio atomico veloce con gas cl2. sebbene i micro-specchietti a gan comb-drive fabbricati siano deviati dallo stress residuo in pellicole sottili di gan, possono operare su un substrato di silicio ad alta resistività senza introdurre alcun ulteriore strato di isolamento. gli angoli di rotazione ottica sono caratterizzati sperimentalmente negli esperimenti di rotazione. questo lavoro apre la possibilità di produrre dispositivi ottici micro-elettro-meccanici (mems) su una piattaforma gan-on-silicon.

fonte: iopscience

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