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la caratterizzazione dell'ossigeno precipita nei cristalli di cz-silicio mediante tomografia a dispersione di luce

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la caratterizzazione dell'ossigeno precipita nei cristalli di cz-silicio mediante tomografia a dispersione di luce

2018-08-30

la densità e l'intensità di dispersione della luce dell'ossigeno precipita dentro cz silicio i cristalli sono misurati dalla tomografia a diffusione di luce. i dati numerici chiariti attraverso le misurazioni sono discussi in relazione alla quantità di ossigeno precipitato. i risultati ottenuti qui corrispondono bene con l'analisi teorica che l'ossigeno precipita causando la dispersione della luce. l'informazione ottenuta dalla tomografia a diffusione di luce ir spiega molto bene il processo di precipitazione dell'ossigeno nei cristalli di silicio cz e le densità dei precipitati ottenuti con questo metodo sono affidabili.


fonte: iopscience


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