uno strato di tappatura di grafite è stato valutato per proteggere la superficie di wafer epitassiali 4h-sic modellati e impiantati selettivamente durante la ricottura post-impianto. Il fotoresistivo az-5214e è stato centrifugato e cotto sotto vuoto a temperature comprese tra 750 e 850 ° c per formare un rivestimento continuo su superfici planari e mesa-incise con caratteristiche fino a 2 μm di al...
Per realizzare carburo di silicio ad alte prestazioni ( SiC ) Devono essere sviluppati dispositivi di potenza, contatti ohmici a bassa resistenza a SiC di tipo p. Per ridurre la resistenza di contatto ohmica, è necessario ridurre l'altezza della barriera alle interfacce metallo / SiC o aumentare la concentrazione di drogaggio nei substrati di SiC. Poiché la riduzione dell'altezza della bar...
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