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Fondamentali del dispositivo 5-5 sic

5. tecnologia al carburo di silicio

Fondamentali del dispositivo 5-5 sic

2018-01-08

per ridurre al minimo i costi di sviluppo e produzione dell'elettronica sic, è importante che la fabbricazione di dispositivi sic si avvantaggi il più possibile dell'infrastruttura di elaborazione del silicio e del wafer esistente. come verrà discusso in questa sezione, la maggior parte delle fasi necessarie per fabbricare l'elettronica sic a partire da sic wafer possono essere realizzate utilizzando processi elettronici e strumenti di fabbricazione di silicio commerciale leggermente modificati.


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