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2-9. (Area) contaminazione di wafer

2. definizione delle proprietà dimensionali, terminologia e metodi del wafer al carburo di silicio

2-9. (Area) contaminazione di wafer

2018-01-08

eventuali corpi estranei sulla superficie in aree localizzate che si rivelano sotto l'illuminazione ad alta intensità (o diffusa) come aspetto scolorito, maculato o torbido risultante da macchie, macchie o macchie d'acqua.

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