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2-26.ttv

2. definizione delle proprietà dimensionali, terminologia e metodi del wafer al carburo di silicio

2-26.ttv

2018-01-08

variazione di spessore totale (ttv): la massima variazione nello spessore del wafer. la variazione di spessore totale viene generalmente determinata misurando il wafer in 5 posizioni di un modello a croce (non troppo vicino al bordo del wafer) e calcolando la differenza di spessore massima misurata.

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