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2-14. difetti di mascheramento

2. definizione delle proprietà dimensionali, terminologia e metodi del wafer al carburo di silicio

2-14. difetti di mascheramento

2018-01-08

indicato anche come \"tumulo\"


quando un difetto impedisce il rilevamento di un altro difetto, il difetto non rilevato viene chiamato difetto mascherato.

una distinta area rialzata sopra la superficie frontale del wafer vista con illuminazione diffusa.

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