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2-12.esenzione esclusiva

2. definizione delle proprietà dimensionali, terminologia e metodi del wafer al carburo di silicio

2-12.esenzione esclusiva

2018-01-08

l'anello esterno del wafer è designato come area di manipolazione dei wafer ed è escluso dai criteri surfacenici di superficie (come graffi, buche, foschia, contaminazione, crateri, fossette, scanalature, tumuli, scorza d'arancia e seghe). questo anello è di 2 mm per substrati da 76,2 mm e 3 mm per substrati da 100,0 mm.

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