il processo per diminuire la densità di dislocazione in drogato di 3 pollici wafer inp è descritto. il processo di crescita dei cristalli è un czochralsky incapsulato liquido convenzionale (lec) ma sono stati aggiunti schermi termici per ridurre il gradiente termico nel cristallo in crescita. la forma di questi scudi è stata ottimizzata con l'aiuto di simulazioni numeriche di trasferimento di ...
segmenti inas sono cresciuti in cima alle isole Gaas, inizialmente creati da epitassia di gocce su substrato di silicio. abbiamo esplorato sistematicamente lo spazio dei parametri di crescita per la deposizione di inas, identificando le condizioni per la crescita selettiva GaAs e per una crescita puramente assiale. i segmenti assiali inas sono stati formati con le loro pareti laterali ruotate di 3...
la densità e l'intensità di dispersione della luce dell'ossigeno precipita dentro cz silicio i cristalli sono misurati dalla tomografia a diffusione di luce. i dati numerici chiariti attraverso le misurazioni sono discussi in relazione alla quantità di ossigeno precipitato. i risultati ottenuti qui corrispondono bene con l'analisi teorica che l'ossigeno precipita causando la disper...
I singoli cristalli di GaSb drogati con Te sono studiati misurando gli effetti Hall, gli infrarossi (IR) e gli spettri di fotoluminescenza (PL). Si è trovato che il GaSb di tipo n con trasmittanza IR può essere ottenuto fino al 60% dal controllo critico della concentrazione del Te-doping e della compensazione elettrica. La concentrazione dei difetti associati all'accettore nativo è apparenteme...
Per realizzare carburo di silicio ad alte prestazioni ( SiC ) Devono essere sviluppati dispositivi di potenza, contatti ohmici a bassa resistenza a SiC di tipo p. Per ridurre la resistenza di contatto ohmica, è necessario ridurre l'altezza della barriera alle interfacce metallo / SiC o aumentare la concentrazione di drogaggio nei substrati di SiC. Poiché la riduzione dell'altezza della bar...
Il sviluppo del mercato dei semiconduttori di potenza SiC e GaN Lo stato attuale della tecnologia e del mercato SiC e il tendenza allo sviluppo nei prossimi anni. Il mercato dei dispositivi SiC è promettente. Le vendite della barriera di Schottky i diodi sono maturati e le spedizioni MOSFET dovrebbero aumentare in modo significativo nei prossimi tre anni. Secondo gli analisti di Yole Développement...
Esame di incisione topografica e chimica a raggi X di Si: Ge singoli cristalli contenente 1,2 a% e 3,0 a% Ge, insieme con precise misurazioni dei parametri reticolari, è stato eseguito. Contrasti di diffrazione sotto forma di "quasi-cerchi" concentrici (striature), probabilmente dovuti alla distribuzione non uniforme degli atomi di Ge, sono stati osservati nei topografi di proiezione. Gl...
Presentiamo un metodo senza contatto per la determinazione del tempo di risposta termica dei sensori di temperatura incorporati nei wafer. In questo metodo, una lampada flash illumina un punto sul wafer in impulsi periodici; il punto si trova sul lato opposto rispetto al sensore in prova. La costante di tempo termica del sensore viene quindi ottenuta dalla misurazione della sua risposta temporale,...
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