le code della cometa hanno una testa discreta e coda finale. queste caratteristiche sono allineate parallelamente al maggiore at. di solito, tutte le code di cometa tendono ad essere della stessa lunghezza. conta una volta per evento. due code di comete entro 200 micron contano come una sola.
simili alle code delle comete in apparenza tranne che sono più angolari e privi di una testa discreta. se presenti, queste caratteristiche sono allineate parallelamente al maggiore at. di solito, ogni carota presente tende ad essere della stessa lunghezza. conta una volta per evento. due carote entro 200 micron contano come uno.
le particelle hanno l'aspetto degli occhi e se presenti sono generalmente concentrate ai bordi dei wafer e non all'interno dell'area speci cata. se presente, conta una volta per evento. due particelle entro 200 micron contano come una sola.
Le gocce di silicio possono apparire come piccoli tumuli o depressioni nella superficie del wafer. normalmente assenti, ma se presenti sono in gran parte concentrati al perimetro del wafer. se presente, stimare la% dell'area specifica interessata.
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