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Passivazione di superfici chimiche bagnate di wafer di germanio mediante il trattamento del quinidrone-metanolo per le misurazioni del ciclo di vita delle minoranze

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Passivazione di superfici chimiche bagnate di wafer di germanio mediante il trattamento del quinidrone-metanolo per le misurazioni del ciclo di vita delle minoranze

2018-11-26

Abbiamo applicato il trattamento del quinidrone / metanolo (Q / M) alle superfici di germanio (Ge) e abbiamo dimostrato che questo trattamento è efficace anche per la passivazione delle superfici Ge per le misurazioni della durata del portatore minoritario. È stata ottenuta una velocità di ricombinazione superficiale (S) inferiore a 20 cm / s, che ci consente di valutare con precisione la durata complessiva dei portatori di minoranza, τb, in Wafer ge . Per quanto a nostra conoscenza, questo è il primo rapporto sul trattamento chimico bagnato applicato con successo alle superfici Ge ottenendo bassi valori di S.


fonte: iopscience


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