suss microtec, un fornitore globale di apparecchiature e soluzioni di processo per l'industria dei semiconduttori e mercati correlati, ha lanciato la serie li - una nuova piattaforma di imaging laser di superficie come preannunciata il 4 maggio 2016.

la tecnologia altamente versatile del li per l'elaborazione della superficie del laser varia dal picchiettamento sub micrometrico dei substrati rivestiti resist alle microablazioni, al trattamento fotochimico e alla metrologia.

i modelli, definiti da un processo cad, vengono trasferiti spostando accuratamente i substrati mirati al di sotto di un raggio laser focalizzato e in scansione. inoltre, la configurazione del laser imager è altamente personalizzabile, per adattarsi al meglio alle esigenze specifiche di ciascun utente. la tecnologia supporta le dimensioni del substrato da piccoli pezzi fino a 300 mm e raggiunge una risoluzione fino a 0,8 μm. l'allineamento multistrato è possibile tramite i sistemi ottici di allineamento del lato superiore e inferiore. accanto al laser a 405 nm gan per processi di litografia a resistenza sottile standard, è anche possibile aggiungere una seconda sorgente laser per indirizzare anche diversi processi come, tra l'altro, resiste spesso come su8 e materiali sensibili agli infrarossi.

Il vantaggio principale del laser imager è la sua flessibilità, che lo rende adatto alle diverse esigenze delle strutture di ricerca accademica e industriale. le principali applicazioni includono un'ampia varietà di strutture nano e 3d per la litografia wafer ad alta risoluzione, componenti micro-ottici, sensori, dispositivi microfluidici e produzione di maschere fotografiche.

\"Con la piattaforma di imaging laser di superficie, aggiungiamo uno strumento al nostro portafoglio di prodotti che espande le nostre apparecchiature di esposizione esistenti verso requisiti di risoluzione più elevati per applicazioni all'avanguardia\", afferma dr. per-ove hansson, ceo di suss microtec ag. \"Con questa aggiunta, stiamo migliorando la nostra posizione di leadership e offrendo il set più completo di prodotti e tecnologie per il mercato della r \u0026 s d di litografia\".

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fonte: LEDinside

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