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3-5. pulizia sul retro

3.definizioni di epitassia di carburo di silicio

3-5. pulizia sul retro

2018-01-08

verificato controllando il colore uniforme sul retro del wafer. nota che c'è una regione più scura vicino al centro di alcuni wafer più drogati. pulizia del lato speci cata come area in percentuale pulita.

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