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2-17.polytypes

2. definizione delle proprietà dimensionali, terminologia e metodi del wafer al carburo di silicio

2-17.polytypes

2018-01-08

molti materiali composti mostrano polimorfismo, cioè possono esistere in diverse strutture chiamate polimorfidi. il carburo di silicio (sic) è unico in questo senso poiché nel 2006 erano stati identificati più di 250 polimeri di carburo di silicio, con alcuni di essi aventi una reticolazione costante fino a 301,5 nm, circa un migliaio di volte le solite spaziature del reticolo sic.


i polimorfi di sic includono varie fasi amorfe osservate in film sottili e fibre, così come una grande famiglia di strutture cristalline simili chiamate politipi


regioni della cristallografia di wafer che sono policristalline o di un materiale di tipo diverso rispetto al resto del wafer, come 6h mescolato con un substrato di tipo 4h. le regioni di poliesteri estranei presentano frequentemente cambiamenti di colore o linee di confine distinte e sono giudicate in termini di percentuale di area sotto illuminazione diffusa.

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