la distanza lineare attraverso la superficie di una fetta circolare che contiene il centro della sezione ed esclude eventuali piani o altre aree di fiducia periferiche. i diametri standard del wafer di silicio sono: 25,4 mm (1 \"), 50,4 mm (2\"), 76,2 mm (3 \"), 100 mm (4\"), 125 mm (5 \"), 150 mm (6\"), 200 mm (8 \") e 300mm (12 \").
la dimensione lineare attraverso la superficie di un wafer. la misura viene eseguita manualmente con calibri digitali certificati ANSI su ogni singolo wafer.